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西格玛光机NFS-X 50nm分辨率闭环控制平台

2024-06-19 10:44| 发布者: | 查看: |

NFS-X 50nm分辨率闭环控制平台是一款使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台,经CE和UKCA认证。

NFS-X 50nm分辨率闭环控制平台内置光栅尺,具有高重复定位精度和高分辨率,有8种台面尺寸可供选择,满足不同需求。

细节:

·由于采用滚珠丝杠驱动,与压电平台相比,可移动距离较长,有各种行程和台面尺寸可供选择。

·实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别,极大地提升了可用性。

·提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

注意:

·请在温度变化幅度不大的环境中使用。(推荐:23±1℃)

·请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。

·请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。

·如需安装大于台面尺寸的工件,请向乐虎游戏咨询。

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上海乐虎游戏信息科技有限公司2004年成立至今,作为专业的光机电产品和技术服务提供商,乐虎游戏科技长期致力于将国际上先进的50nm分辨率闭环控制平台技术及研究方法介绍引进到中国;专注为中国的光学电子/微电子/激光应用/生物/医药/物理、光学研究机构/计量检测机构/机械加工用户提供高品质的50nm分辨率闭环控制平台和技术服务。


 
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