一、真空包装技术

西格玛光机的真空用支柱底板零部件在超净环境下完成装配，在超净组装车间进行装配，并在超净包装车间完成最后包装。与普通产品不同，这些零部件采用特殊包装方法，使用铝袋和真空袋抽真空包装，确保在高真空环境下使用时不容易发生质量劣化问题。

注意：此类产品的开封最好在超净间或真空装置附近进行，开封后也应避免暴露在常规室内环境下太久时间，以防止质量劣化。

二、出气量评估与测试

为了确保产品质量，西格玛光机使用组装完成的产品实施了在真空腔内的放气实验评估。下面的例子是使用电导调制法（conductance modulation method）测试的真空用镜架（VMHG-50.8）的出气情况。

电导调制法是通过测量真空装置的电导值变化，评估排气量或真空度的一种方法。常被用于测量评估出气量随时间的变化情况，或进行不同产品的出气特性的比较实验。

出气量随排气时间的变化

三、测试装置与质量分析

测试过程中，西格玛光机使用先进的测试装置，选用了涡轮分子泵 STP-301（制造商为精工精机，现：Edwards），排气速度可达 300 ℓ/s。同时，还配备了四极质谱分析仪 M-201QA-TDM（制造商为 Canon ANELVA Corporation），原子质量数范围为 1~200，用于分析质量成分比。

质量成分比

西格玛光机的真空用支柱底板零部件产品通过严格的生产工艺、特殊的包装方法和先进的检测手段，确认设计生产工艺的合理性和正确性。

注意：产品出货时并不附带类似的检验报告。如果您需要此类数据报告，请和乐虎游戏联系。此类数据原则上有偿提供。